Проверяемые параметры:- Сопротивление – проверка электрического контакта и адгезии электродов;
- Частота – проверка точности определения толщины плёнки;
- Кривизна – проверка стабильности резонансной частоты. Недостаточная кривизна приводит к более быстрому снижению стабильности измерения.
- Визуальный осмотр – проверка однородности электродов, обнаружение дефектов поверхности и других отклонений, свидетельствующих о плохой адгезии электродов либо о наличии загрязнений.
ПРИМЕЧАНИЕ:Золотое покрытие рекомендуется при напылении плёнок с малыми внутренними напряжениями, таких как алюминий, золото, серебро и пр.
Серебро или сплав рекомендуются при напылении плёнок с большими внутренними напряжениями, таких как хром, никель, инконель и пр.
Сплав рекомендуется при напылении диэлектрических материалов, таких как фторид магния, монооксид кремния и пр.