Кварцевые кристаллы
Кристаллы служат «расходным материалом», на который производится напыление с целью определения толщины плёнки.
Для разных приложений предлагаются кристаллы с покрытием золотом, серебром и сплавами. Выбор покрытия, серебро, золото или сплав, зависит от планируемого применения.
Проверяемые параметры:
  • Сопротивление – проверка электрического контакта и адгезии электродов;
  • Частота – проверка точности определения толщины плёнки;
  • Кривизна – проверка стабильности резонансной частоты. Недостаточная кривизна приводит к более быстрому снижению стабильности измерения.
  • Визуальный осмотр – проверка однородности электродов, обнаружение дефектов поверхности и других отклонений, свидетельствующих о плохой адгезии электродов либо о наличии загрязнений.

ПРИМЕЧАНИЕ:
Золотое покрытие рекомендуется при напылении плёнок с малыми внутренними напряжениями, таких как алюминий, золото, серебро и пр.
Серебро или сплав рекомендуются при напылении плёнок с большими внутренними напряжениями, таких как хром, никель, инконель и пр.
Сплав рекомендуется при напылении диэлектрических материалов, таких как фторид магния, монооксид кремния и пр.